以氯乙烷为原料,以铜为催化剂,在350~370℃与硅粉反应,可制得一乙基三氯硅烷、二乙基二氯硅烷、三乙基氯硅烷、乙基二氯硅烷、二乙基氯硅烷的混合物,利用其沸点差使之分离制得。主要用于合成硅油、硅树脂等聚硅氧烷,用于消袍剂、皮革表面处理剂及防护剂;织物表面处理剂;化妆用品;表面活性剂等。
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